一种基板取放装置

摘要

本实用新型公开一种基板取放装置，涉及基板搬运装置技术领域，为解决将基板从基板盒内取出时，因基板与基板盒之间发生碰撞或剐蹭而导致基板产生破损、划伤等现象的问题。所述基板取放装置包括支撑台、机械臂和机械手，其中，所述机械臂安装在所述支撑台上，所述机械臂可相对所述支撑台升降移动，且所述机械臂可伸长和缩短；所述机械手与所述机械臂可转动连接，所述机械手转动，带动基板盒内发生偏转的待取出的基板转动，使待取出的基板回归正常状态后，所述机械手取出待取出的基板，所述正常状态为待取出的基板未发生偏转时的状态。本实用新型提供的基板取放装置用于取放基板。

主权项

一种基板取放装置，其特征在于，包括支撑台、机械臂和机械手，其中，所述机械臂安装在所述支撑台上，所述机械臂可相对所述支撑台升降移动，且所述机械臂可伸长和缩短；所述机械手与所述机械臂可转动连接，所述机械手转动，带动基板盒内发生偏转的待取出的基板转动，使待取出的基板回归正常状态后，所述机械手取出待取出的基板，所述正常状态为待取出的基板未发生偏转时的状态。