Vibrationsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vibrationsvorrichtung

摘要

Vibrationsvorrichtung, umfassend: ein unteres Substrat (110), auf dem eine Isolierschicht (120) gebildet ist; ein oberes Substrat (130), das auf der Isolierschicht (120) angeschlossen ist und eine Vibrationsregion (131) mit zwei Enden umfasst, die vibriert und die vom unteren Substrat (110) um wenigstens einen vorbestimmten Abstand getrennt ist; und einen Unterstützungsbereich (140), der direkt auf dem unteren Substrat (110) derart gebildet ist, dass er die beiden Enden der Vibrationsregion (131) sowie eine Region des oberen Substrats (130), die den Enden der Vibrationsregion (131) benachbart ist, an einer der Isolierschicht (120) abgewandten Seite bedeckt, um die Vibrationsregion (131) zu unterstützen, wobei der Unterstützungsbereich (140) direkt auf dem unteren Substrat (110) derart gebildet ist, dass er die Enden der Vibrationsregion (131) vollständig bedeckt, so dass eine Seite der Isolierschicht (120), die mit dem Boden einer Region des oberen Substrats (130) verbunden ist, die den Enden der Vibrationsregion (131) benachbart ist, von dem Unterstützungsbereich (140) bedeckt ist.