ITO粉末及其制造方法、以及分散液及ITO膜的制造方法

摘要

本发明提供一种在低压下成为压坯时显示出高导电性的表面改性的ITO粉末及其制造方法、以及分散液及ITO膜的制造方法。本发明的表面改性的ITO粉末，对由该ITO粉末构成的压坯施加0.98MPa的压力时的所述压坯的电阻率为0.50Ω·cm以下，将对所述压坯施加0.196～29.42MPa的压力时的所述压坯的体积电阻率设为Y且所述压力设为X时，所述压力与所述体积电阻率之间的关系近似Y=aXⁿ，a为5.00以下，且n为‑0.500以下。

主权项

一种ITO粉末的制造方法，其包括如下工序：在3价铟化合物和2价锡化合物的混合水溶液中混合碱性水溶液来生成铟与锡的共沉淀氢氧化物；以纯水或离子交换水清洗所述共沉淀氢氧化物；去除所述共沉淀氢氧化物的上清液来制备分散有铟锡氢氧化物颗粒的浆料；干燥所述浆料；及烧成所述干燥的铟锡氢氧化物来获得铟锡氧化物，所述制造ITO粉末的方法的特征在于，在所述清洗的工序中，清洗至所述上清液的电阻率至少达到5000Ω·cm，在所述浆料的制备工序中，将去除了所述上清液的浆料以水进行稀释以使所述氢氧化物颗粒的浓度成为10～30质量％的范围后，在搅拌的同时向所述浆料中添加相对于所述氢氧化物颗粒100质量％为0.1～5质量％的范围的有机保护剂，对表面吸附有所述有机保护剂的铟锡氢氧化物进行干燥后，在所述烧成的工序中，在大气中在250～800℃的范围用烧成炉烧成0.5～6小时，在所述烧成的工序之后，粉碎已烧成的ITO粉末的聚集体，将该粉碎的ITO粉末浸渍于混合有50～95质量％的无水乙醇与5～50质量％的蒸馏水的表面处理液后，在氮气气氛下，在200～400℃的范围加热0.5～5小时，所述有机保护剂为棕榈基二甲基乙基铵乙基硫酸盐、聚乙烯醇或辛基二甲基乙基铵乙基硫酸盐，所述ITO粉末为表面改性的ITO粉末，对由所述ITO粉末构成的压坯施加0.98MPa的压力时的所述压坯的体积电阻率为0.50Ω·cm以下，将对所述压坯施加0.196～29.42MPa的压力时的所述压坯的体积电阻率设为Y且所述压力设为X时，所述压力与所述体积电阻率之间的关系以下述公式(1)来拟合，在该公式(1)中，a为5.00以下，且n为‑0.500以下，Y＝aXⁿ   (1)。