一种新型交替增量式测量微位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种新型交替增量式测量微位移传感器，包括激光束、两块反射镜间、光电探测器一、光电探测器二和处理系统。运用该传感器，通过激光束在一组平行设置的两块反射镜之中不断反射，最终照射到两组光电探测器上，改变两块反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，每组光电探测器上的三个探测部件多次感应激光束，处理系统根据每组探测部件感应到激光束的次数和感光顺序以及探测部件间的间距处理得到一个探测距离值，这个探测距离值远远大于两块反射镜间距的真实改变值，处理系统能够通过这个探测距离值来计算出两块反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。

主权项

一种新型交替增量式测量微位移传感器，其特征在于，包括激光束(11)、固定反射镜(2)、移动反射镜(3)、探测反射镜(4)、光电探测器一(5)、光电探测器二(6)和处理系统，所述光电探测器一(5)设有固定间距的探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)，所述探测部件三(53)设于所述探测部件一(51)和探测部件二(52)的直线连线之间的任意位置，所述光电探测器二(6)设有固定间距的探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)，所述探测部件六(63)设于所述探测部件四(61)和探测部件五(62)的直线连线之间的任意位置，所述固定反射镜(2)与移动反射镜(3)平行设置并且能够相对移动，所述固定反射镜(2)与移动反射镜(3)的一端设置所述探测反射镜(4)、光电探测器一(5)和光电探测器二(6)，另一端设置所述激光束(11)，所述光电探测器一(5)和光电探测器二(6)设于所述探测反射镜(4)两侧，所述激光束(11)入射到所述固定反射镜(2)上，经过所述固定反射镜(2)与移动反射镜(3)交替反射后入射到所述探测反射镜(4)，所述探测反射镜(4)将所述激光束(11)反射到所述光电探测器一(5)或光电探测器二(6)，并被所述探测部件一(51)、探测部件二(52)、探测部件三(53)、探测部件四(61)、探测部件五(62)或探测部件六(63)感应，所述处理系统通信连接所述光电探测器一(5)和光电探测器二(6)，并用于统计所述探测部件一(51)、探测部件二(52)、探测部件三(53)、探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)感应所述激光束(11)的次数和感光顺序。