一种无损检测系统

摘要

本发明涉及一种无损检测系统，包括超声波发射组件，超声波检测组件，显微组件和待测物体，所述超声波组件包括脉冲光源，第一耦合透镜和第一准直透镜，所述第一耦合透镜设置在脉冲光源和第一准直透镜之间，所述超声波检测组件包括连续光源，第一分光镜，光折变装置，光检测器和处理单元，所述第一分光镜设置在连续光源和光折变装置之间，所述光检测器设置在光折变装置与处理单元之间。本发明通过利用脉冲光源在待测物体形成超声波进行待测物体缺陷检测，能以不破坏元件的方式，在微米级物体表面或是内部产生超声波并检测缺陷的位置。

主权项

一种无损检测系统，包括超声波发射组件，超声波检测组件，显微组件和待测物体，其特征在于：所述超声波组件包括脉冲光源，第一耦合透镜和第一准直透镜，所述第一耦合透镜设置在脉冲光源和第一准直透镜之间，所述超声波检测组件包括连续光源，第一分光镜，光折变装置，光检测器和处理单元，所述第一分光镜设置在连续光源和光折变装置之间，所述光检测器设置在光折变装置与处理单元之间。