一种压力传感器及其制备方法

摘要

本申请一种基于COMS电路的加速度压力传感器及其制备方法，涉及传感器制备领域，通过在ASIC衬底(设置有控制电路结构)上采用熔融键和工艺制备加速度计，再利用共晶键合工艺在上述加速度结构上继续制备压力传感器，最后采用深反应离子刻蚀工艺将上述的加速度计和压力传感器整合，进而形成垂直整合的压力传感器和加速度计结构，在大大降低芯片总体面积的同时，有效的提高了晶圆芯片的生产效率。

主权项

一种压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括：一设置有控制电路结构的ASIC衬底、基于该ASIC衬底上制备的加速度计和压力传感器；以及一连接结构；所述压力传感器通过所述连接结构垂直整合于所述加速度计上。