用于计算任意图案的随机变化的模型

摘要

本发明披露了一种确定空间图像或抗蚀剂图像的特性的随机变化与一个或更多个设计变量之间关系的方法，所述方法包括：针对所述设计变量的多组值中的每组值从多个空间图像和/或抗蚀剂图像测量出所述特性的值；针对所述设计变量的多组值中的每组值，从针对设计变量的该组值的所述特性的值的分布确定所述随机变化的值；以及通过从所述随机变化的值以及所述设计变量的多组值拟合一个或更多个参数来确定所述关系。

主权项

一种确定空间图像或抗蚀剂图像的特性的随机变化与一个或更多个设计变量之间的关系的方法，所述方法包括：针对所述设计变量的多组值中的每组值从多个空间图像和/或抗蚀剂图像测量出所述特性的值；针对所述设计变量的多组值中的每组值，从针对设计变量的该组值的所述特性的值的分布确定所述随机变化的值；以及由计算机通过从所述随机变化的值以及所述设计变量的多组值拟合一个或更多个参数来确定所述关系。