硅烷移动床反应器

摘要

本实用新型公开了一种硅烷移动床反应器，包括反应器壳体以及颗粒多晶硅加料管，所述多晶硅加料管的出料端口位于反应器壳体内，所述反应器壳体内分为上部的反应器分离区域以及下部的反应器反应区域，在所述反应器壳体上部分别设置有与反应器分离区域连通的氢气入口和尾气出口，在所述反应器壳体下部设置有多个与反应器反应区域连通的反应混合气进口，所述反应器壳体底部设置有物料出口。本实用新型采用了移动床堆积技术的方式生产颗粒多晶硅，其最主要的特点是将多晶硅颗粒和反应气的加热与加热后的多晶硅颗粒接触分解反应分开进行，并通过多次循环加热、反应后，使小粒径的多晶硅颗粒逐渐长大，从而获得我们需要的成品颗粒多晶硅产品。

主权项

硅烷移动床反应器，其特征在于：包括反应器壳体（1）以及多晶硅加料管（2），所述多晶硅加料管（2）的出料端口位于反应器壳体（1）内，所述反应器壳体（1）内分为上部的反应器分离区域（1a）以及下部的反应器反应区域（1b），在所述反应器壳体（1）上部分别设置有与反应器分离区域（1a）连通的氢气入口（3）和尾气出口（4），在所述反应器壳体（1）下部设置有多个与反应器反应区域（1b）连通的反应混合气进口（5），所述反应器壳体（1）底部设置有物料出口（6），多个反应混合气进口（5）沿反应器壳体（1）的轴向布置，形成反应器反应区域（1b）内多个不同高度的进气位置。