柔性自发电式加速度传感器

摘要

本发明提供一种柔性自发电式加速度传感器，包括：一个质量块和由多种材料结合形成的功能薄膜。可以加入衬底结构起到保护作用。所述功能薄膜固定于所述质量块，所述功能薄膜包括依次层叠设置的第一电极层、第一摩擦层、第二摩擦层和第二电极层；所述第二摩擦层通过表面微处理方法加工出微金字塔结构。构成功能薄膜的材料具有一定的黏附性，能保证组件的可靠连接。本发明的一种柔性自发电式加速度传感器，将摩擦发电技术和MEMS技术进行结合，在一定的加速度环境下，利用第一，第二摩擦层之间的相互摩擦产生电荷，从而得到与加速度相关的电压，具有可自发电自供给、可弯折、成本低、制作工艺简单、具有良好的抗摔性和防水性的优点。

主权项

一种柔性自发电式加速度传感器，其特征在于，包括：一质量块和至少一功能薄膜，所述功能薄膜包括层叠设置并连接的一第一电极层、一第一摩擦层、一第二摩擦层和一第二电极层；所述第一电极层固定于所述质量块，所述第二摩擦层邻近所述第一摩擦层的一第一相邻面或所述第一摩擦层邻近所述第二摩擦层的一第二相邻面上形成一锥体阵列结构，所述锥体阵列结构包括均匀分布的多个锥体，所述第一摩擦层和所述第二摩擦层通过所述锥体阵列结构粘接。