| 发明名称 | 基板保持具以及基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板保持具以及基板处理装置。用于多层地保持多个基板的基板保持具包括圆环状构件，该圆环状构件设置于相邻的基板之间，在与基板的要被等离子体处理的被处理面相对的面的外周缘部具有凸部。 | ||
| 申请公布号 | CN105970189A | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
| 申请号 | CN201610140383.1 | 申请日期 | 2016.03.11 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 及川大海 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种基板保持具，其用于多层地保持多个要进行等离子体处理的基板，其中，该基板保持具包括圆环状构件，该圆环状构件设置于相邻的所述基板之间，在与所述基板的要被等离子体处理的被处理面相对的面的外周缘部具有凸部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||