| 摘要 |
Li 금속, LiCoO, WO, NiO 등과 같은 전극들 상의, LiPON, 또는 다른 리튬 이온 전달 전해질, 박막들의 증착과 관련하여, 박막 전기화학 디바이스들, 이를 테면 박막 배터리들, 및 전기변색 디바이스들의 제조를 개선하기 위한 방법들 및 장치가 설명된다. 증착 시스템에서 전기화학 디바이스를 제조하는 방법은: 전기화학 디바이스의 전극 층의 표면의 일부에 대해 실질적으로 주변에(peripherally) 전기 전도성 층을 구성하는 단계; 전기 전도성 층을, 전기적으로 전도성이지만 전기적으로 플로팅되는 표면에 전기적으로 연결하는 단계; 및 증착 챔버 내에서 전기화학 디바이스의 전극 층의 표면의 일부 상에 리튬 이온 전달 고체 상태 전해질 층을 증착하는 단계를 포함할 수 있고, 증착하는 단계는 증착 챔버 내에서 플라즈마를 형성하는 단계를 포함하고; 증착하는 단계 동안, 전기적으로 전도성이지만 전기적으로 플로팅되는 표면은 증착 챔버 내에 있다. |
