| 发明名称 | 光束整形掩模、激光加工装置以及激光加工方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及光束整形掩模、激光加工装置以及激光加工方法。其为具有与被激光加工于薄膜(15)的开口图案(20)的形状相似的形状的开口(4)的光束整形掩模(1)，开口(4)被形成为该开口(4)内的光透射率从部向周缘部递减、并且即使在周缘部也具有能够确保能够激光加工薄膜(15)的至少最低限度的激光强度的光透射率，从而防止在激光加工后的孔的边缘部产生毛刺(22)。 | ||
| 申请公布号 | CN105980098A | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
| 申请号 | CN201580007681.7 | 申请日期 | 2015.03.31 |
| 申请人 | 株式会社V技术 | 发明人 | 水村通伸 |
| 分类号 | B23K26/066(2006.01)I;B23K26/382(2006.01)I | 主分类号 | B23K26/066(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李洋;青炜 |
| 主权项 | 一种光束整形掩模，其具有与被激光加工于被加工物的孔的形状相似的形状的开口，所述光束整形掩模的特征在于，所述开口被形成为该开口内的光透射率从中央部向周缘部递减、并且即使在周缘部也具有能够确保能够激光加工所述被加工物的至少最低限度的激光强度的光透射率。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||