使用掩模将导电性球搭载到工件上的方法及球搭载装置

摘要

本发明提供一种能够矫正工件的翘曲，且高精度地搭载导电性球的方法及球搭载装置。球搭载装置（1）包括：掩模（10），其具有用于将导电性球（B）搭载到工件（100）上的多个开口（12）；保持台（31），其支承工件的至少下表面侧，且控制工件相对于掩模的位置；填充头（5），其沿掩模的上表面（11）移动，将导电性球分别填充到掩模的多个开口内；冷却装置（60），其从与填充头的移动路径互不干扰的位置冷却掩模。在该球搭载装置中，在利用保持台加热工件的状态下，边抽吸并支承工件边使工件与掩模对齐，且边利用冷却装置冷却掩模边利用填充头将导电性球搭载到工件上。

主权项

一种借助具有用于搭载导电性球的多个开口的掩模而将导电性球搭载到工件上的方法，其中，搭载的过程包括：将上述工件搭载于移动体，并将上述工件向被配置于上述掩模的下侧的矫正夹具之下移动，上述移动体支承上述工件的至少下表面侧，含有加热上述工件的机构；边加热上述移动体上所搭载的上述工件边利用矫正夹具从上方对上述工件的至少一部分施加压力，矫正上述工件的翘曲；观察用摄像机从上述掩模的上方观察上述掩模的基准标记，并经由设于上述掩模的窗口观察上述工件的基准标记，确认上述工件与上述掩模之间的位置；基于确认后的上述工件与上述掩模之间的位置进行被搭载于上述移动体的上述工件与上述掩模之间的定位；利用上述移动体，边加热上述工件边使上述工件与上述掩模的下表面相对，进而，边利用冷却装置冷却上述掩模边沿上述掩模的上表面移动填充头，将导电性球分别填充到上述掩模的上述多个开口内。