| 发明名称 | 新型脂环式酯化合物的制造方法、新型脂环式酯化合物、将其聚合的(甲基)丙烯酸系共聚物、和包含其的感光性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供作为化学放大型抗蚀剂的无损图案形状、耐干蚀刻性、耐热性等基本物性，且提高灵敏度、分辨率、线边缘粗糙度(LER)的平衡良好的抗蚀剂和抗蚀剂用化合物。通式(1)表示的脂环式酯化合物的制造方法、通式(1)的脂环式酯化合物、和将其聚合得到的(甲基)丙烯酸系共聚物与其的感光性树脂组合物。一种脂环式酯化合物的制造方法，其特征在于，其为通式(1)表示的脂环式酯化合物的制造方法，使通式(2)表示的金刚烷化合物与通式(3)表示的羟基烷基胺反应以制造通式(4)表示的金刚烷酰胺化合物后，使通式(4)的金刚烷酰胺化合物与(甲基)丙烯酸反应。<img file="DDA0001072380030000011.GIF" wi="1515" he="703" /> | ||
| 申请公布号 | CN105980347A | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
| 申请号 | CN201580007729.4 | 申请日期 | 2015.02.12 |
| 申请人 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 发明人 | 早川祥一;堀越裕;古川喜久夫;田中博康;棚木宏幸 |
| 分类号 | C07C231/12(2006.01)I;C07C231/02(2006.01)I;C07C235/40(2006.01)I;C08F20/36(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F220/28(2006.01)I;C08F220/36(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C07C231/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种脂环式酯化合物的制造方法，其特征在于，其为通式(1)表示的脂环式酯化合物的制造方法，<img file="FDA0001072380010000011.GIF" wi="998" he="363" />式(1)中，R<sup>1</sup>表示氢原子或甲基，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>任选相同或不同，各自独立地表示氢原子、羟基、碳数1～10的环状、直链状或支链状的烷基、芳基、环烷基、碳数1～10的烷氧基、芳氧基、碳数2～6的酰氧基、卤素基团，R<sup>4</sup>表示碳数2～5的直链状或支链状的亚烷基，使通式(2)表示的金刚烷化合物与通式(3)表示的羟基烷基胺反应以制造通式(4)表示的金刚烷酰胺化合物后，使通式(4)的金刚烷酰胺化合物与(甲基)丙烯酸反应，<img file="FDA0001072380010000012.GIF" wi="677" he="359" />式(2)中，R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>与通式(1)相同，H<sub>2</sub>N‑R<sup>4</sup>‑OH···(3)式(3)中，R<sup>4</sup>与通式(1)相同，<img file="FDA0001072380010000013.GIF" wi="853" he="357" />式(4)中，R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>与通式(1)相同。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||