发明名称 | 薄膜电路瓷片涂胶显影同步夹具 | ||
摘要 | 本发明公开的一种薄膜电路瓷片涂胶显影同步夹具,旨在提供一种装夹方便,能够可靠使用自动真空吸附转台的涂胶显影同步夹具。本发明通过下述技术方案予以实现:在安装母板(1)四周对角线上固联有凸出于所述安装母板平面的瓷片固定板(3)和L形回转压板(4);在瓷片固定板的对角线上制有对应于上述紧固螺孔的锁止孔(10),紧定螺钉(7)通过紧固螺孔插入锁止孔,形成了瓷片固定板沿周向封闭装夹金属化孔瓷片工件的四角定位围框;安装母板在真空吸附下随自动涂胶显影设备转台旋转,金属化孔薄膜电路瓷片工件按照事先编程程序,同步完成表面旋涂光刻胶和显影。可以实现将薄膜电路瓷片设计的图形转移到金属化孔瓷片表面的后续电路制造。 | ||
申请公布号 | CN105974747A | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
申请号 | CN201610438940.8 | 申请日期 | 2016.06.17 |
申请人 | 中国电子科技集团公司第十研究所 | 发明人 | 詹为宇 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 | 成飞(集团)公司专利中心 51121 | 代理人 | 郭纯武 |
主权项 | 一种薄膜电路瓷片涂胶显影同步夹具,包括:固联于定位台(2)的安装母板(1),其特征在于,在安装母板(1)四周对角线上固联有凸出于所述安装母板(1)平面的瓷片固定板(3),每个瓷片固定板(3)上设有L形回转压板(4),该L形回转压板(4)通过带有弹簧(5)的盘头螺钉(6)螺装在上述瓷片固定板(3)上;在L形回转压板(4)的L形底部平面上制有紧固螺孔(14),在瓷片固定板(3)的对角线上制有对应于上述紧固螺孔(14)的锁止孔(10),紧定螺钉(7)通过紧固螺孔(14)插入锁止孔(10),形成了瓷片固定板(3)沿周向封闭装夹金属化孔瓷片工件(17)的四角定位围框;安装母板(1)通过定位台(2)与不同自动涂胶显影设备转台上的真空台面相贴,在真空吸附下随自动涂胶显影设备转台旋转,薄膜电路瓷片工件按照事先编程程序,同步完成表面旋涂光刻胶和显影。 | ||
地址 | 610036 四川省成都市金牛区茶店子东街48号 |