一种晶片升降销装置

摘要

本发明公开了一种晶片升降销装置，包含气缸及一对感应器，一对感应器分别上下交错安装在气缸的两侧，还包含：移动轴，移动轴一端设置在气缸内，其另一端延伸设置在气缸外部；升降销，升降销安装在移动轴的顶部；进气管、出气管，进气管、出气管分别与气缸相连通；分别对应安装在进气管、出气管上的调节部件，调节部件用于调节进气管及出气管的气流量。调节部件为针阀。该装置可以通过调节进气管及出气管气流量，从而保证外部机械手能够准确抓取晶片，防止晶片掉落。

主权项

一种晶片升降销装置，包含气缸（1）及一对感应器（2），一对所述的感应器（2）分别上下交错安装在气缸（1）的两侧，其特征在于，还包含：移动轴（3），所述的移动轴（3）一端设置在气缸（1）内，其另一端延伸设置在气缸（1）外部；升降销（4），所述的升降销（4）安装在移动轴（3）的顶部；进气管（5）、出气管（6），所述的进气管（5）、出气管（6）分别与气缸（1）相连通；分别对应安装在进气管（5）、出气管（6）上的调节部件，所述的调节部件用于调节进气管（5）及出气管（6）的气流量；所述的调节部件为针阀（7）。