发明名称 |
测试校正仪、测试系统及测试方法 |
摘要 |
本发明提供了一种测试校正仪、测试系统及测试方法,通过分析模块从多个测试项中筛选出待检验测试项及所述待检验测试项所接收到的测试条件,其中,所述待检验测试项符合如下要求:多台测试机对于所述待检验测试项的测试中,在一部分测试机下,所述待检验测试项的测试结果合格;在另一部分测试机下,所述待检验测试项的测试结果不合格,据此能够调整使得待检验测试项的测试结果不合格的测试机所输出的测试条件,从而最终判定测试结果,由此提高了测试结果的可靠性。 |
申请公布号 |
CN103592613B |
申请公布日期 |
2016.09.28 |
申请号 |
CN201310598098.0 |
申请日期 |
2013.11.22 |
申请人 |
上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
发明人 |
王玉龙;祁建华;刘远华;郝丹丹;叶建明 |
分类号 |
G01R35/00(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01R35/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
周耀君 |
主权项 |
一种测试校正仪,其特征在于,包括:测试信息获取模块,用以获取多台测试机对被测器件进行多个测试项的测试时,对于每台测试机的每个测试项,被测器件所接收到的测试条件以及所得到的测试结果;分析模块,用以根据测试信息获取模块所得到的信息,从多个测试项中筛选出待检验测试项及所述待检验测试项所接收到的测试条件,其中,所述待检验测试项符合如下要求:多台测试机对于所述待检验测试项的测试中,在一部分测试机下,所述待检验测试项的测试结果合格;在另一部分测试机下,所述待检验测试项的测试结果不合格;调整控制模块,用以根据分析模块所得到的信息,调整待检验测试项的测试结果不合格的测试机所输出的测试条件。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江郭守敬路351号2号楼2楼 |