发明名称 利用辐射对铜焊接合长度进行定量评估的设备和方法
摘要 根据实施例,提供了一种定量地评估铜焊接合长度的设备(10)。辐射发射单元(12)向多个局部样品中的每个局部样品发射辐射,所述多个局部样品是通过在垂直于铜焊接合长度方向的平面内切割样品而获得的。光生成器(16)生成具有对应于透射辐射的强度的量的光。成像单元(18)拍摄该光。计算器(20)在铜焊接合长度与光量之间的相关性的基础上根据关于所述局部样品中的每个局部样品所获得的光量来计算所述局部样品中的每个局部样品的铜焊接合长度。计算器(20)还通过对各个局部样品的铜焊接合长度进行求总和来计算所述样品的铜焊接合长度。
申请公布号 CN105973175A 申请公布日期 2016.09.28
申请号 CN201610134471.0 申请日期 2016.03.10
申请人 株式会社东芝 发明人 大平原亮介;高根泽真;濑川和哉;中村英之;原田茂;佐藤文夫;浅井知;隅田晃生;大高彻
分类号 G01B15/02(2006.01)I 主分类号 G01B15/02(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 林金朝;王英
主权项 一种通过使用辐射来定量地评估样品的铜焊接合长度的设备,包括:辐射发射单元,其被配置为向多个局部样品中的每个局部样品发射沿铜焊接合长度方向的辐射,所述多个局部样品是通过在垂直于所述铜焊接合长度方向的平面内切割所述样品而获得的;光生成器,其被配置为生成具有对应于透射辐射的强度的量的光,所述透射辐射是由所述辐射发射单元发射的所述辐射的部分,所述辐射的所述部分通过所述局部样品中的每个局部样品;成像单元,其被配置为拍摄所述光生成器根据所述透射辐射的所述强度生成的所述光;以及计算器,其被配置为:在铜焊接合长度与光量之间的预先获取的相关性的基础上,根据从由所述成像单元关于所述局部样品中的每个局部样品所获得的拍摄结果所识别出的光量来计算所述局部样品中的每个局部样品的铜焊接合长度,并且通过对各个局部样品的所计算出的铜焊接合长度进行求总和来计算所述样品的所述铜焊接合长度。
地址 日本东京都