剥离装置

摘要

本发明的剥离装置，具有：第一保持单元(310)，其用于保持第一板状体(BL)；剥离开始单元(321)，其通过使第一板状体(BL)的一端部向与第二板状体(SB)相反的方向弯曲成柱面状，将第二板状体(SB)中的与第一板状体(BL)紧贴的紧贴区域的局部转变为第一板状体(BL)被剥离的剥离区域，在紧贴区域和剥离区域之间的边界处形成一条且直线状边界线；第二保持单元(122)，其用于保持形成有剥离区域的第二板状体(SB)；分离单元，其使第一保持单元(310)和第二保持单元(122)之间的间隔增大，来使第一板状体(BL)和第二板状体(SB)分离。

主权项

一种剥离装置，用于使第一板状体和第二板状体剥离，所述第二板状体的平面尺寸小于所述第一板状体的平面尺寸，并且所述第二板状体隔着薄膜或者图案紧贴在所述第一板状体上，所述剥离装置的特征在于，具有：保持载物台，其上表面为平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴的一面相反的一侧的另一面与所述保持面抵接，来保持所述第一板状体，剥离单元，其保持所述第二板状体，来使所述第二板状体相对于被保持在所述保持载物台上的所述第一板状体，向与所述第一板状体分离的方向移动，支撑构件，其上端向所述保持面的上方突出，并且所述上端与所述第一板状体的所述另一面局部抵接，从而将所述第一板状体支撑在与所述保持面分离的状态，以及升降单元，其使所述支撑构件相对于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之间变更，所述上部位置是指，所述支撑构件的所述上端向所述保持面的上方突出的位置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置；所述支撑构件抵接于所述第一板状体的所述另一面中的与在所述一面侧中与所述第二板状体紧贴的区域相对应的区域内且所述有效区域的外侧抵接。