| 发明名称 | 衬底运输设备 | ||
| 摘要 | 一种传送设备包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线；线性轨，其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，其被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂，其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。 | ||
| 申请公布号 | CN105981154A | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
| 申请号 | CN201480075737.8 | 申请日期 | 2014.12.15 |
| 申请人 | 布鲁克斯自动化公司 | 发明人 | R.T.卡夫尼;U.吉尔克里斯特;A.克鲁皮舍夫 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 邓雪萌;谭祐祥 |
| 主权项 | 一种传送设备，包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂延伸和收缩相应的臂的独立驱动轴线；线性轨，所述线性轨限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，所述公共驱动轴线被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂；其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||