发明名称 压电换能器、压电转换器和能量收集系统
摘要 本公开涉及压电换能器、压电转换器和能量收集系统,以增加对“平面内”方向上的机械作用的响应。压电换能器包括:锚定件;半导体材料的梁,从锚定件开始在平行于第一轴(Y)的主方向上以悬臂方式延伸,并且具有平行于第一平面(XY)的面,第一平面由第一轴(Y)和垂直于第一轴(Y)的第二轴(X)限定;以及压电层,在梁的面上。梁的垂直于第一轴(Y)的截面是非对称的,并且被成形为使得梁响应于施加到锚定件并且根据第一轴(X)定向的力,而呈现离开第一平面(XY)的变形。本公开还涉及压电转换器和能量收集系统。由于非对称几何结构,梁还用离开平面XY的变形响应在平行于轴X的方向上定向的力,从而显著提高压电转换器的整体效率。
申请公布号 CN205595377U 申请公布日期 2016.09.21
申请号 CN201520977697.8 申请日期 2015.11.30
申请人 意法半导体股份有限公司 发明人 F·普罗科皮奥;A·弗兰吉
分类号 H01L41/08(2006.01)I;H01L41/25(2013.01)I 主分类号 H01L41/08(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 王茂华
主权项 一种压电换能器,其特征在于,包括:锚定件;半导体材料的梁,从所述锚定件开始在平行于第一轴(Y)的主方向上悬臂式延伸,并且具有平行于第一平面(XY)的面,所述第一平面由所述第一轴(Y)和垂直于所述第一轴(Y)的第二轴(X)限定;以及压电层(26),在所述梁的所述面上;所述梁的垂直于所述第一轴(Y)的截面是非对称的,并且被成形为使得所述梁响应于施加到所述锚定件并且根据所述第一轴(X)指向的力而呈现离开所述第一平面(XY)的变形。
地址 意大利阿格拉布里安扎