| 发明名称 | 工件处理时所用的罩幕 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种工件处理时所用的罩幕，其包括：图案平板，包括平面部分，所述平面部分包括形成工件处理时所用图案的连续开口；以及装配框，包括：外周缘，所述平面部分固定于所述外周缘上；以及对准突出部，包括一个或更多个活动接头，用于进行所述装配框与所述图案平板之间的对准；以及结构结合物，用以固定所述图案平板与所述装配框。本实用新型可制造成本较低的罩幕。 | ||
| 申请公布号 | CN205595308U | 申请公布日期 | 2016.09.21 |
| 申请号 | CN201490000909.0 | 申请日期 | 2014.07.25 |
| 申请人 | 瓦里安半导体设备公司 | 发明人 | 亚隆·P·威波;查理斯·T·卡尔森 |
| 分类号 | H01L21/265(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/265(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 杨文娟;臧建明 |
| 主权项 | 一种工件处理时所用的罩幕，其特征在于，包括：图案平板，包括平面部分，所述平面部分包括形成工件处理时所用图案的连续开口；以及装配框，包括：外周缘，所述平面部分固定于所述外周缘上；以及对准突出部，包括一个或更多个活动接头，用于进行所述装配框与所述图案平板之间的对准；以及结构结合物，用以固定所述图案平板与所述装配框。 | ||
| 地址 | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号 | ||