| 发明名称 | 导电膜基板、具有该基板的光伏电池及制造该基板的方法 | ||
| 摘要 | 一种导电膜基板、具有该基板的光伏电池及制造该基板的方法。该导电膜基板包括基底基板和在基底基板上形成的透明导电膜。该透明导电膜为具有同时形成于其表面上的第一纹理结构和第二纹理结构的氧化锌薄膜。第二纹理结构小于第一纹理结构。 | ||
| 申请公布号 | CN103258866B | 申请公布日期 | 2016.09.21 |
| 申请号 | CN201310055437.0 | 申请日期 | 2013.02.21 |
| 申请人 | 康宁精密素材株式会社 | 发明人 | 金序炫;尹根尚;李铉熙;刘泳祚 |
| 分类号 | H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/0224(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 康泉;王珍仙 |
| 主权项 | 一种导电膜基板，包括：基底基板；和在所述基底基板上形成的透明导电膜，其中，所述透明导电膜为具有同时形成于其表面上的第一纹理结构和第二纹理结构的氧化锌薄膜，所述第二纹理结构小于所述第一纹理结构，其中，当从所述基底基板的上方垂直观察时，所述第一纹理结构的每个长轴的长度在200nm至500nm的范围内，而所述第一纹理结构的每个短轴的长度在80nm至200nm的范围内，并且其中，所述第一纹理结构的分布密度在2/μm<sup>2</sup>至20/μm<sup>2</sup>的范围内，而所述第二纹理结构的分布密度在50/μm<sup>2</sup>至500/μm<sup>2</sup>的范围内。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||