氢氟酸蚀刻制程废酸资源化方法

摘要

本发明公开了一种氢氟酸蚀刻制程废酸资源化方法，属于光伏产业及半导体电路板制作过程中的废酸资源化再回收利用的方法的技术领域；系利用氢氟酸捕捉剂将废酸中氢氟酸转化为氟硅酸，进一步投入氟硅酸捕捉剂将氟硅酸转化为氟硅酸盐，剩余酸液通过蒸馏浓缩程序，将余酸蒸出浓缩，得到与原料相同酸液，能销售或回到制程使用，而氟硅酸盐进一步加碱脱硅，形成可资源化二氧化硅及氟化盐。其氟化盐能进一步再生氢氟酸，能回制程循环利用，让废酸液全资源化，解决光伏产业废酸处理问题，达到全资源化与循环利用的效果。

主权项

一种氢氟酸蚀刻制程废酸资源化方法，其特征在于实施程序步骤为：(一)废酸分流收集：将蚀刻制程排出的废酸进行分流收集；分为氢氟酸加硝酸混酸、氢氟酸加盐酸混酸或氢氟酸加硫酸混酸；(二)氢氟酸捕捉：使用过量氢氟酸捕捉剂将废酸中的氢氟酸完全转化为氟硅酸；(三)氟硅酸捕捉：使用氟硅酸捕捉剂将废酸液中氟硅酸转化为氟硅酸盐；(四)混酸蒸馏浓缩：将氟硅酸捕捉后的酸液进行分段加热减压蒸馏；得到直接销售或回制程使用并符合市场原料规格的混酸；蒸馏后氟硅酸盐再进一步加热脱水，即能回收氟硅酸盐。