苯胺低聚物化合物的制造方法

摘要

本发明的课题是提供一种对抗蚀剂表面的涂布性优异，用于形成可以防止抗蚀剂膜带电的抗静电膜的组合物。作为解决本发明课题的方法涉及一种形成抗静电膜的组合物，其含有下述式(1A)所示的低聚物化合物和水。(1)(式中，R₁表示氢原子或下述式(2)所示的基团，R₂和R₃各自独立地表示氢原子或者下述式(3)或式(4)所示的基团，多个R中的至少一个表示磺基，a和b表示满足2≤(a+b)≤6的正整数，多个x各自独立地表示0～4的整数。)(2)(3)(4)(式中，n表示满足1≤n＜(a+b+4)的整数，a、b、R和x与上述式(1A)中的含义相同，多个y各自独立地表示0～5的整数。)。

主权项

式(1F)所示的苯胺低聚物化合物的制造方法，其特征在于，使下述式(1D)所示的三苯基胺衍生物与下述式(1E)所示的胺化合物在金属配位化合物催化剂和碱的存在下进行反应，式中，X表示离去性官能团，m’表示1～3的整数。