四甲基氢氧化铵的回收利用装置

摘要

本实用新型涉及四甲基氢氧化铵的回收利用装置，尤其是薄膜晶体管液晶显示及半导体等电子制造行业所用四甲基氢氧化铵溶液的回收利用装置。本实用新型所述四甲基氢氧化铵(TMAH)的回收利用装置由废液槽，离子交换树脂床,沉淀反应釜等组成。通过本实用新型提供装置，能够将显影液中的光刻胶树脂等其他杂质去除，得到电子级TMAH的目的。而且结构简单，可连续生产，循环使用，节约成本，降低污染，易于推广实用。

主权项

一种四甲基氢氧化铵的回收利用装置，其特征在于，包括：废液槽(1)、第一离子交换床(2)、硫酸储槽(3)、中间储槽(4)、沉淀剂储槽(5)、反应釜(6)、过滤装置(7)和第二离子交换床(8)；所述废液槽(1)和硫酸储槽(3)与所述第一离子交换床(2)一端连接，所述第一离子交换床(2)另一端连接中间储槽(4)，中间储槽(4)和沉淀剂储槽(5)与所述反应釜(6)一端连接，所述反应釜(6)另一端连接过滤装置(7)，所述过滤装置(7)连接第二离子交换床(8)。