用于测量和控制带电粒子笔形射束的多分辨率检测器

摘要

一种多分辨率检测器包括高分辨率像素化电极和低分辨率像素化电极。高分辨率像素化电极包括第一像素的多个子阵列。每个子阵列中的每个相对位置处的每个分别的第一像素彼此并联电连接。低分辨率像素化电极包括多个第二像素。控制系统接收作为输入的来自每个像素化检测器的输出。控制系统使用这些输入来以高分辨率像素化电极的分辨率确定入射的带电粒子笔形射束的物理位置和横向强度分布。

主权项

一种用于检测带电粒子笔形射束的特性的系统，所述系统包括：多分辨率检测器，所述多分辨率检测器被设置为邻近等中心平面，所述多分辨率检测器包括：第一像素化电极，所述第一像素化电极包括第一像素的多个子阵列，其中每个子阵列中的每个相对位置处的每个分别的第一像素彼此并联电连接，以使得所述第一像素化电极动态地产生第一输出，所述第一输出表示来自所述子阵列的所述分别的第一像素的组合的电输出，所述第一像素检测由所述带电粒子笔形射束创建的电流；第二像素化电极，所述第二像素化电极包括多个第二像素，所述第二像素化电极被配置来动态地产生第二输出，所述第二输出表示所述带电粒子笔形射束在基本上平行于所述等中心平面的平面中的大致物理位置，所述第二像素化电极具有小于所述第一像素化电极的第一分辨率的第二分辨率；以及高压平面，所述高压平面被设置在所述第一像素化电极和所述第二像素化电极之间，诊断控制系统，所述诊断控制系统包括存储器和处理器，所述诊断控制系统被配置来：接收作为输入的所述第一输出和所述第二输出，并且基于所述第一输出和所述第二输出来确定所述带电粒子射束的实际位置和实际横向强度分布，所述实际位置和所述实际强度分布具有所述第一分辨率。