发明名称 一种氮化物发光二极管的外延结构
摘要 本发明公开了一种氮化物发光二极管的外延结构,通过在多量子阱发光区的V‑pits上方填充钝化层/DBR/Al量子点的复合结构,钝化层阻挡电子和空穴扩散至V‑pits,降低V‑pits中缺陷的非辐射复合,而DBR将量子阱发出的光反射,防止光被V‑pits中的缺陷吸收,同时,Al量子点形成光反射和表面等离激元,进一步引导光波导方向。通过钝化层/DBR/Al量子点复合结构的多重垒加效应,提升量子阱的发光效率。
申请公布号 CN105932128A 申请公布日期 2016.09.07
申请号 CN201610305529.3 申请日期 2016.05.10
申请人 厦门市三安光电科技有限公司 发明人 郑锦坚;钟志白;杨焕荣;李志明;杜伟华;邓和清;伍明跃;周启伦;林峰;李水清;康俊勇
分类号 H01L33/10(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I;H01L33/24(2010.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 H01L33/10(2010.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种氮化物发光二极管的外延结构,依次包括衬底,N型氮化物,多量子阱,V‑pits,钝化层/DBR/Al量子点的复合结构,P型氮化物,P型接触层以及DBR,其特征在于:多量子阱发光区的V‑pits上方填充钝化层/DBR/Al量子点的复合结构,钝化层阻挡电子和空穴扩散至V‑pits,降低V‑pits中缺陷的非辐射复合,而DBR将量子阱发出的光反射,防止光被V‑pits中的缺陷吸收,同时,Al量子点形成光反射和表面等离激元,进一步引导光波导方向。
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