固态成像设备，其制造方法，以及照相机

摘要

公开了固态成像设备、其制造方法，以及照相机。固态成像设备包括具有彼此相对的第一面和第二面并且其中形成了光电转换部分的基板；包括在第一面的一侧上提供的微透镜的光学系统；以及在第二面的一侧上提供的光吸收部分，其中，所述设备具有用于检测第一波长的光的第一类型的像素以及用于检测比第一波长短的第二波长的光的第二类型的像素，并且所述设备对于每个第一类型的像素进一步包括基板和光吸收部分之间的第一部分，并且对于每个第二类型的像素进一步包括基板和光吸收部分之间的第二部分，对于所述第一波长的光，所述第一部分的反射率高于所述第二部分的反射率。

主权项

一种具有多个像素的固态成像设备，包括：基板，具有第一面和与所述第一面相对的第二面，在该基板中形成了分别对应于所述多个像素的多个光电转换部分，并且在该基板的所述第二面的一侧上形成有MOS晶体管；光学系统，包括在所述基板的所述第一面的一侧上与所述多个像素对应地提供的多个微透镜；以及多个光吸收部分，在所述基板的所述第二面的一侧上与所述多个像素对应地被提供，并且吸收光，其中，所述多个像素包括用于检测第一波长的光的第一类型的像素，以及用于检测比所述第一波长短的第二波长的光的第二类型的像素，以及对于所述第一类型的像素中的每个，所述固态成像设备进一步包括所述基板和对应于所述像素的所述光吸收部分之间的第一部分，并且对于所述第二类型的像素中的每个，所述固态成像设备进一步包括所述基板和对应于所述像素的所述光吸收部分之间的第二部分，所述第一部分从基板侧到光吸收部分侧包括介电膜、多晶硅膜和绝缘部分，所述第二部分从基板侧到光吸收部分侧包括所述介电膜和所述绝缘部分，所述MOS晶体管的栅电极布置在所述介电膜和所述基板的所述第二面之间，以及对于所述第一波长的光，所述第一部分的反射率高于所述第二部分的反射率。