发明名称 |
一种TiO<sub>2</sub>掺杂ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>陶瓷靶材的制备方法 |
摘要 |
本发明提出一种TiO<sub>2</sub>掺杂ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>陶瓷靶材的制备方法,通过前驱体的制备、沉淀反应、抽滤干燥、预烧成型及烧结等工艺步骤,采用液相法制备粉体,并严格控制各反应条件,制备出的ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>‑xTiO<sub>2</sub>粉体粒径比较小、成分均匀、纯度高、晶粒生长均匀完整,可以用于多种微波介质陶瓷粉体的制备,同时也显著提升了ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>陶瓷靶材的致密度及介电性能,极大提高了良品率。 |
申请公布号 |
CN105924168A |
申请公布日期 |
2016.09.07 |
申请号 |
CN201610301534.7 |
申请日期 |
2016.05.09 |
申请人 |
中科院微电子研究所昆山分所 |
发明人 |
杜勇;王广欣;崔立虎 |
分类号 |
C04B35/495(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C04B35/495(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
常亮 |
主权项 |
一种TiO<sub>2</sub>掺杂ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>陶瓷靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、制备含锌、铌、钛的混合溶液;S2、向所述混合溶液中添加沉淀剂与分散剂,得到沉淀混合溶液,静置后得到混凝沉淀物;S3、对所述混凝沉淀物进行抽滤,并干燥,得到沉淀物;S4、对所述沉淀物进行研磨,得到ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>‑xTiO<sub>2</sub>前驱体粉体,再对所述ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>‑xTiO<sub>2</sub>前驱体粉体进行预烧,得到ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>‑xTiO<sub>2</sub>粉体,对所述ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>‑xTiO<sub>2</sub>粉体进行冷等静压成型,得到ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>‑xTiO<sub>2</sub>陶瓷靶材毛坯;S5、对所述ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>‑xTiO<sub>2</sub>陶瓷靶材毛坯进行烧结,得到ZnNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>‑xTiO<sub>2</sub>陶瓷靶材素坯,之后进行机械加工。 |
地址 |
215347 江苏省苏州市昆山市祖冲之南路1699号综合楼7楼 |