GATE STRUCTURE HAVING DESIGNED PROFILE AND METHOD FOR FORMING THE SAME

摘要

반도체 구조체 및 그 형성 방법이 제공된다. 반도체 구조체는 기판 위에 형성된 곡면 측벽을 갖는 금속 게이트 구조체를 갖는다. 반도체 구조체는 금속 게이트 구조체의 곡면 측벽 위에 형성된 곡면 스페이서를 추가로 포함한다. 또한, 금속 게이트 구조체의 각 곡면 측벽은 상부, 중간부, 및 하부를 갖고, 금속 게이트 구조체의 곡면 측벽의 중간부와 하부 사이의 각도는 180˚보다 작다.