静电夹头

摘要

依据本发明实施例，设有一静电夹头，其包括一电极及一表面层，此表面层被电极中的一电压所致动而形成电荷，通过此将一基板静电夹钳至静电夹头上。所述表面层包括多个凸起，所述凸起延伸至围绕所述凸起的部分所述表面层上方的一高度处，以便在基板的静电夹钳期间将所述基板支撑于凸起上。如同就多对相邻凸起之间的中心间距所测量到的，所述凸起在整个表面层上大致等距离隔开。

主权项

一种静电夹头，其包含：一电极；以及一表面层，所述表面层被所述电极中的一电压所致动而形成电荷，用以将一基板静电夹钳至所述静电夹头上；所述表面层包括：(i)一介电材料，包括大于10¹²ohm‑cm体积电阻率，使得静电夹头是一库伦式夹头；(ii)多个凸起，所述凸起延伸至围绕所述凸起的部分所述表面层上方的一高度处，以便在基板的静电夹钳期间将所述基板支撑于所述凸起上，如同就多对相邻凸起之间的中心间距所测量到的，所述凸起在整个表面层上等距离隔开，所述凸起包括一低应力材料，所述低应力材料具有小于450MPa的内部压缩薄膜应力且包括一层类钻碳的涂层；(iii)一电荷控制表面层涂覆覆盖所述介电材料，并且包括0.1至10微米范围内的厚度以及1x10⁸ohms/square到1x10¹¹ohms/square范围内的表面电阻率，所述电荷控制表面层包括一表面涂覆层，所述表面涂覆层包括所述表面层围绕所述凸起的部分，所述凸起在所述部分上方延伸。