非接触式基板传送旋转器

摘要

本发明公开一种非接触式基板传送旋转器，该非接触式基板传送旋转器能够以非接触状态执行基板的传送和翻转。该非接触式基板传送旋转器包括：传送构件，该传送构件沿着导轨移动；基板支撑构件，该基板支撑构件安装在传送构件处并且通过阻力和升力非接触地支撑基板；以及动力传输构件，该动力传输构件将动力提供到基板支撑构件以使基板支撑构件旋转。

主权项

一种非接触式基板传送旋转器，包括：传送构件，所述传送构件沿着导轨移动；基板支撑构件，所述基板支撑构件安装在所述传送构件处并且通过阻力和升力非接触地支撑基板；以及动力传输构件，所述动力传输构件将动力提供到所述基板支撑构件以使所述基板支撑构件旋转，其中，在所述传送构件的上侧处设置有翻转供应部和翻转接收部，所述翻转供应部构造成在所述翻转接收部逆时针旋转的同时顺时针旋转，以使得在所述翻转供应部和所述翻转接收部的旋转期间，所述基板保持非接触状态，而不会竖直下落。