一种凹面光栅的制作方法

摘要

一种凹面光栅的制作方法，包括以下步骤：1)制备或选取光栅模板；2)选取聚合物胶；3)对光栅模板进行清洗；4)在光栅模板上涂覆聚合物胶并且固化；5)将聚合物胶进行脱模形成软质印模；6)在软质印模的光栅结构面上溅射金属膜；7)选取与制备的凹面光栅大小弧度相匹配的弧形金属工件；8)将软质印模的背面和弧形金属工件的内表面进行等离子改性；9)将软质印模的背面和弧形金属工件的内表面粘合；上述步骤1)、2)或者2)、3)可以互换。本发明的制作方法工艺简单，能够大面积、大规模的进行凹面光栅制备，极大地降低了凹面光栅的制作成本。

主权项

一种凹面光栅的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：1)制备或选取光栅模板(1)；2)制备聚合物胶；3)对光栅模板(1)进行清洗；4)在光栅模板(1)上涂覆聚合物胶并且固化；5)将聚合物胶进行脱模形成软质印模(2)；6)在软质印模(2)的光栅结构面上溅射金属膜；7)选取与制备的凹面光栅大小弧度相匹配的弧形金属工件(3)；8)将软质印模(2)的背面和弧形金属工件(3)的内表面进行等离子改性；9)将软质印模(2)的背面和弧形金属工件(3)的内表面粘合；上述步骤1)和2)或者2)和3)可以互换。