J型结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法

摘要

一种J型结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由固定基座、预压力加载机构、J型结构定子和动子四部分组成，所述定子采用J型铰链机构使得定子沿轴向刚度分布不均匀，激发定子驱动端产生侧向位移，增大摩擦驱动力，减小摩擦阻力；同时将摩擦调控波复合叠加于定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，显著提升压电粘滑直线马达机械输出特性。本发明具有结构简单、精度高、行程大等特点，在航空航天、光学精密仪器和半导体加工等微纳精密驱动与定位领域中具有很好的应用前景。

主权项

一种J型结构精密压电粘滑直线马达，其特征在于该J型结构精密压电粘滑直线马达由固定基座（1）、预压力加载机构（2）、J型结构定子（3）和动子（4）组成，其中预压力加载机构（2）固定在固定基座（1）上，J型结构定子（3）安装在预压力加载机构（2）上，动子（4）安装在固定基座（1）上。