CLEANING METHOD AND CLEANING MODULE FOR MANUFACTURING APPARATUS FOR CRYSTAL INGOT,申请号KR20080116177-传众专利搜索

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发明名称	CLEANING METHOD AND CLEANING MODULE FOR MANUFACTURING APPARATUS FOR CRYSTAL INGOT
摘要
申请公布号	KR101044124(B1)	申请公布日期	2011.06.28
申请号	KR20080116177	申请日期	2008.11.21
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;C30B35/00;H01L21/208	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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