发明名称 微小機械測定素子および微小機械測定素子の製造方法
摘要 A micromechanical measuring element includes a carrier and a sensitive element connected to the carrier by a first solder connection and a second solder connection. The sensitive element is contacted electrically by the first solder connection. The sensitive element, the carrier and the second solder connection form a first chamber. The first chamber has a first opening.
申请公布号 JP5981571(B2) 申请公布日期 2016.08.31
申请号 JP20140560394 申请日期 2013.03.08
申请人 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEPCOS AG 发明人 シッファー, ミヒャエル;ペシュカ, アンドレアス;ツァプフ, イェルク;ヴァイトナー, カール;ヘトラー, ハリー
分类号 G01L19/00;G01L9/00;G01P15/08;G01P15/12 主分类号 G01L19/00
代理机构 代理人
主权项
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