发明名称 |
微小機械測定素子および微小機械測定素子の製造方法 |
摘要 |
A micromechanical measuring element includes a carrier and a sensitive element connected to the carrier by a first solder connection and a second solder connection. The sensitive element is contacted electrically by the first solder connection. The sensitive element, the carrier and the second solder connection form a first chamber. The first chamber has a first opening. |
申请公布号 |
JP5981571(B2) |
申请公布日期 |
2016.08.31 |
申请号 |
JP20140560394 |
申请日期 |
2013.03.08 |
申请人 |
エプコス アクチエンゲゼルシャフトEPCOS AG |
发明人 |
シッファー, ミヒャエル;ペシュカ, アンドレアス;ツァプフ, イェルク;ヴァイトナー, カール;ヘトラー, ハリー |
分类号 |
G01L19/00;G01L9/00;G01P15/08;G01P15/12 |
主分类号 |
G01L19/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|