基板传输机构和具有它的基板传输系统

摘要

本发明公开了一种基板传输机构包括：一种基板传输机构，其特征在于，包括：直线运动单元、旋转运动单元和主臂，其中：所述直线运动单元，通过所述主臂与所述旋转运动单元连接，所述直线运动单元用于驱动所述旋转运动单元作直线运动；所述旋转运动单元，用于旋转抓取或者松开基板。根据本发明实施例的基板传输机构，结构简单、操作方便且效率高，可省略了传统的基片传输机构中的通用式机械手臂等设备，成本低。本发明还公开了一种具有上述基板传输机构的基板传输系统。

主权项

一种基板传输机构，其特征在于，包括：直线运动单元、旋转运动单元和主臂，其中：所述直线运动单元，通过所述主臂与所述旋转运动单元连接，所述直线运动单元用于驱动所述旋转运动单元作直线运动；所述旋转运动单元，用于旋转抓取或者松开基板；所述旋转运动单元，包括：副臂，所述副臂的一端可枢转地安装在所述主臂上；末端执行器，所述末端执行器安装在所述副臂的另一端用于抓取基板；和第二驱动器，所述第二驱动器与所述副臂相连以驱动所述副臂相对于所述主臂枢转；抓取或者松开基板时，所述直线运动单元驱动所述旋转运动单元做直线运动，所述第二驱动器驱动所述副臂相对于所述主臂枢转以抓取或者松开基板。