磁控管组件及磁控溅射设备

摘要

本发明提供一种磁控管组件及磁控溅射设备，包括磁轭背板以及排列在所述磁轭背板上以形成预定形状的磁控管的磁体，并且在所述磁轭背板上设置有贯穿其厚度的多个背板通孔，每个所述磁体与所述多个背板通孔中的其中一个可旋转地连接，并且所述磁体相对于所述背板通孔旋转的旋转轴偏离所述磁体的中心轴，且与所述背板通孔的轴线重合。本发明提供的磁控管组件无需采用磁铁连接件就可以单独调整每个磁体与磁轭背板之间的相对位置，从而不仅调整过程简单、灵活性好，而且还可以降低加工难度以及制造和加工成本；此外，由于调整磁体排列的形状的最小调整量较小，从而可以获得较为准确又平滑的磁控管的形状。

主权项

一种磁控管组件，包括磁轭背板以及排列在所述磁轭背板上以形成预定形状的磁控管的磁体，并且在所述磁轭背板上设置有贯穿其厚度的多个背板通孔，其特征在于，各个所述磁体之间相互独立，且相邻两个所述磁体之间的中心距通过选择相应的所述背板通孔而自由设定，并且每个所述磁体与所述多个背板通孔中的其中一个可旋转地连接，并且所述磁体相对于所述背板通孔旋转的旋转轴偏离所述磁体的中心轴，且与所述背板通孔的轴线重合。