| 发明名称 | 液体光反应性组合物以及制造结构的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种制造结构的方法，所述方法包括：将液体光反应性组合物设置在基底上，使所述液体光反应性组合物的一部分暴露于足够强度和波长的激光，以引起经由所述双光子敏化剂的双光子激发的聚合以及所述液体光反应性组合物的一部分的聚合，从而提供曝光组合物；以及使所述曝光组合物显影以提供所述结构。所述液体组合物包含：至少一种可阳离子聚合聚环氧化合物；包含可自由基聚合基团的至少一种化合物；有效量的双光子光引发剂体系，其中组分(a)与组分(b)的重量比为25:75至75:25，包括端值在内。所述双光子光引发剂体系包括双光子敏化剂和芳族<img file="DDA0001010391840000011.GIF" wi="58" he="62" />盐。所述液体光反应性组合物可包含小于约1重量％的有机溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN105917275A | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201480066600.6 | 申请日期 | 2014.12.01 |
| 申请人 | 3M创新有限公司 | 发明人 | 李子成;罗伯特·J·德沃;布赖恩·K·纳尔逊;布赖恩·J·盖茨 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;B29C67/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 王潜;郭国清 |
| 主权项 | 一种制造结构的方法，所述方法包括以下步骤：(i)将液体光反应性组合物设置在基底上，其中所述液体光反应性组合物包含以下组分：(a)环氧基团官能度为2的至少一种可阳离子聚合脂族环氧化物；(b)可自由基聚合基团官能度为3的至少一种可自由基聚合化合物；和(c)有效量的双光子光引发剂体系，所述双光子光引发剂体系包括：双光子敏化剂；和芳族<img file="FDA0001010391810000011.GIF" wi="54" he="60" />盐，其中组分(a)和组分(b)以25:75至75:25的相应重量比存在，包括端值在内；以及(ii)使所述液体光反应性组合物的一部分暴露于足够强度和波长的激光，以引起经由所述双光子敏化剂的双光子激发的聚合以及所述液体光反应性组合物的一部分的聚合，从而提供曝光组合物；以及(iii)使所述曝光组合物显影以提供所述结构。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||