发明名称 一种智能化防水镀膜装置
摘要 本实用新型公开了一种智能化防水镀膜装置,包括密封盖和蓄电池,所述密封盖安装在外壳体的上方,且密封盖的上方设置有太阳能电池板,所述外壳体的内部设置有真空腔,所述真空腔的内部设置有镀膜基片,所述镀膜基片的下方设置有防水镀膜靶材,所述防水镀膜靶材的下方设置有高能激光溅射装置,所述紫外线消毒装置的下方设置有自动检修装置,所述外壳体的前方设置有控制面板。本实用新型一种智能化防水镀膜装置操作安全方便,可对溅射速率进行调控,以保证镀膜的均匀性与适宜厚度,增加镀膜成功率,且可进行清洁杀菌,出现基本故障时故障指示灯自动亮起进行提示,自动检修装置发送报告进行检修。
申请公布号 CN205529008U 申请公布日期 2016.08.31
申请号 CN201620069883.6 申请日期 2016.01.26
申请人 深圳新南亚技术开发有限公司 发明人 闫都伦;唐贵民;王克斌
分类号 C23C14/34(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 主分类号 C23C14/34(2006.01)I
代理机构 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 代理人 李静
主权项 一种智能化防水镀膜装置,包括密封盖(2)和蓄电池(8),其特征在于:所述密封盖(2)安装在外壳体(5)的上方,且密封盖(2)的上方设置有太阳能电池板(1),所述外壳体(5)的内部设置有真空腔(4),所述真空腔(4)的内部设置有镀膜基片(3),所述镀膜基片(3)的下方设置有防水镀膜靶材(6),所述防水镀膜靶材(6)的下方设置有高能激光溅射装置(7),所述高能激光溅射装置(7)上设置有溅射速率调控装置(11),且高能激光溅射装置(7)的右侧设置有紫外线消毒装置(10),所述紫外线消毒装置(10)的下方设置有自动检修装置(12),所述外壳体(5)的前方设置有控制面板(9),所述蓄电池(8)安装在外壳体(5)的下方,所述蓄电池(8)的右侧设置有真空抽气泵(13),所述外壳体(5)的底部设置有万向自锁轮(14),所述高能激光溅射装置(7)、蓄电池(8)、紫外线消毒装置(10)、溅射速率调控装置(11)和真空抽气泵(13)均与控制面板(9)电性连接。
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