摘要 |
【課題】ヒューム除去の効率化とチャンバ内の不活性ガス濃度の維持とを両立させる積層造形装置を提供する。【解決手段】材料粉体層6上の所定の照射領域にレーザ光Lを照射して焼結層を形成するレーザ照射装置25と、チャンバ10に不活性ガスを供給するとともにヒュームをチャンバ10の外に排出する不活性ガス給排装置4とを備え、不活性ガス給排装置4は、チャンバ10に不活性ガスを供給する不活性ガス供給装置と、チャンバ10から排出されたヒュームを含む不活性ガスを吸引する吸込部とヒュームを含む不活性ガスからヒュームを除去する集塵装置とヒュームが除去された不活性ガスをチャンバ内へ返送する排気部とを備えるヒュームコレクタ43と、吸込部側と排気部側とに接続され排気部側から吸込部側への不活性ガスの気流を形成しチャンバ10内へ返送される不活性ガスの流量を適量に制限するバイパス47と、を含む積層造形装置1。【選択図】図1 |