一种磁控管及等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种磁控管及等离子体加工设备，所述磁控管包括极性相反的内磁极和外磁极，所述内磁极与所述外磁极相互不接触地嵌套在一起，所述内磁极和外磁极在其径向截面上的形状均为螺旋线。该磁控管可以提高靶材的利用率，不仅可以降低等离子体加工设备生产成本，而且可以提高等离子体加工设备的生产效率。

主权项

一种磁控管，包括极性相反的内磁极和外磁极，所述内磁极与所述外磁极相互不接触地嵌套在一起，其特征在于，所述内磁极和外磁极在其径向截面上的形状均为螺旋线；所述内磁极包括内磁极本体和设置在所述内磁极本体上的多个磁铁，所述磁铁沿所述内磁极本体的弧线排列设置；所述外磁极包括外磁极本体和设置在所述外磁极本体上的多个磁铁，所述磁铁沿所述外磁极本体的弧线排列设置，并且在所述外磁极的径向方向上，所述外磁极本体的内端部的宽度大于所述外磁极本体的外端部的宽度；或者在所述内磁极的径向方向上，所述内磁极本体的内端部的宽度大于所述内磁极本体的外端部的宽度，用以减小中心区域的磁场强度。