长晶装置及晶体制造方法

摘要

一种长晶装置，包括：一坩锅、一坩锅盖、一隔热单元及多个热反射环。坩锅盖界定有一开口，坩锅盖装设于坩锅上且共同包围定义出一经开口而连通于外的容置空间。隔热单元设置于坩锅盖的外表面上。所述多个热反射环设置于容置空间内且分别悬吊于坩锅盖，而任两相邻的热反射环呈等距地间隔设置，且所述多个热反射环与坩锅盖之间各形成有一第一角度。其中，所述多个热反射环能在该长晶装置加热过程中产生形变，以使第一角度变化至一第二角度。从而，本发明通过所述多个热反射环的设置而能调整熔汤表面温梯分布。此外，本发明另提供一种晶体制造方法。

主权项

一种长晶装置，其特征在于，包括：一坩埚；一坩埚盖，其界定有一开口，该坩埚盖装设于该坩埚上，且该坩埚与该坩埚盖包围定义出一容置空间，该容置空间经该开口而连通于外；一隔热单元，其设置于该坩埚盖的外表面上；以及多个热反射环，其设置于该容置空间内且分别悬吊于该坩埚盖，而任两相邻的热反射环呈间隔设置，且所述多个热反射环与该坩埚盖之间各形成有一第一角度，所述多个热反射环能在该长晶装置加热过程中产生形变，以使每一热反射环与该坩埚盖之间的第一角度能变化至一第二角度，所述多个热反射环与该坩埚盖之间各形成该第二角度时，每一热反射环的内径自邻近该坩埚盖朝远离该坩埚盖的方向逐渐递增。