一种基于硅纳米针的光控太赫兹波幅度调制器

摘要

本发明属于太赫兹成像领域技术，涉及太赫兹成像相关领域的调制器件，具体提供一种基于硅纳米针的光控太赫兹波幅度调制器，包括半导体激光器、光纤、光纤调制器及太赫兹幅度调制结构，所述半导体激光器产生的激光通过光纤耦合进入光纤调制器；其特征在于，所述太赫兹幅度调制结构由硅基底层及其表面的硅纳米针尖阵列构成，所述光纤调制器输出调制激光入射到硅纳米针尖阵列表面。本发明采用硅纳米针尖阵列和高阻硅/本征硅层的双层结构；硅纳米针尖阵列的在高阻硅/本征硅的表面形成折射率的梯度变化，能够同时降低太赫兹波和泵浦激光的反射，显著降低器件插损和提高对泵浦激光的利用率，实现器件在较小的泵浦激光功率下获得相对较高的调制深度。

主权项

一种基于硅纳米针的光控太赫兹波幅度调制器，包括半导体激光器、光纤、光纤调制器及太赫兹幅度调制结构，所述半导体激光器产生的激光通过光纤耦合进入光纤调制器；其特征在于，所述太赫兹幅度调制结构是由硅基底层及其表面的硅纳米针尖阵列构成的双层结构，所述光纤调制器输出调制泵浦激光入射到硅纳米针尖阵列表面。