用于内部标记具有粗糙表面的基板的方法及设备

摘要

一种用于雷射处理的方法提供涂覆至一基板(44)的一粗糙表面(42)的一涂层材料(130)，以便缓解由该表面(42)的粗糙度引起的不利光学效应。具有适用参数的雷射输出的雷射脉冲(52)可经引导及聚焦以在通过该涂层材料(130)之后，在不损坏该粗糙表面(42)的情况下内部标记该基板(44)材料。

主权项

一种用于雷射处理基板的方法，该基板具有基板材料的相对第一表面及第二表面且具有该第一表面与该第二表面之间的基板材料的核心，其中该第一表面及该第二表面中的至少一者具有带粗糙表面纹理的粗糙表面，且其中基板材料的该核心具有基板折射率，该方法包含：提供该基板，其中涂层材料已涂覆至该粗糙表面，且其中该涂层材料具有与该基板材料的该基板折射率光学上兼容的涂层折射率；产生雷射输出，该雷射输出具有适于在通过该涂层材料之后，在不损坏该粗糙表面的情况下，标记该基板材料的该核心的雷射处理参数，其中该雷射处理参数包含雷射波长；聚焦该雷射输出的雷射脉冲以在焦点处具有最小射束腰部；及引导该雷射输出穿过该涂层材料且穿过该粗糙表面，使得该雷射脉冲的该焦点定位于该基板材料的该核心内，以在不损坏该粗糙表面的情况下标记该基板的该核心，其中该涂层材料对该雷射波长是至少部分地光学透射的。