| 摘要 |
高出力光用減衰器（１００）であって、入射光（１２０）を全反射し、その反射光である第１反射光（１２０Ａ）を第２反射部（１０２）へ入射させる第１反射手段（１０１）と、前記第１反射光（１２０Ａ）を反射し、その反射光である第２反射光（１２０Ｂ）を第３反射部（１０３）へ入射させる第２反射手段と、前記第２反射光（１２０Ｂ）を反射し、その反射光である第３反射光（１２０Ｃ）を第４反射部（１０４）へ入射させる第３反射手段と、前記第３反射光（１２０Ｃ）を前記入射光（１２０）と同じ光軸を有する第４反射光（１２０Ｄ）として反射する第４反射手段と、を備え、前記第２反射手段、前記第３反射手段および前記第４反射手段のうち少なくとも２つは、半透過ミラーとすることで、ビーム位置とビーム径とを変化させずにビームの出力を減衰させる。 |
