一种测量材料单质气体放气率的装置及方法

摘要

本发明公开了一种测量材料各单质气体放气率的装置及测量方法。使用本发明能够对材料放出的气体组分进行测量，获得材料放出的各单质气体的放气率大小以及材料总放气率的大小，且测量装置结构简单，测量范围宽，测量不确定度小。本发明采用的测量装置，仅采用样品室、上游室、测试室、抽真空系统、标准漏孔、质谱计以及真空计，即可完成固体材料单质气体放气率的测量。采用静态定容升压和动态连续抽气结合的方法，能够克服测量过程中气体吸附给材料放气测量带来的影响，测量准确度高，测量不确定度小，且测量范围宽，可将材料放气率的测量下限延伸至10^‑15Pam³s^‑1cm^‑2的量级。

主权项

一种测量材料各单质气体放气率的装置，其特征在于，包括测试室(2)、上游室(4)、标准漏孔(6)、定容器(10)、样品室(15)、抽气系统A和抽气系统B；其中，上游室(4)通过限流小孔(3)与测试室(2)连通，标准漏孔(6)通过微调阀A(7)与上游室(4)连接，定容器(10)通过微调阀B(9)与上游室(4)连接，样品室(15)与定容器(10)连接；抽气系统A与测试室(2)连接，抽气系统B与样品室(15)连接；样品室(15)还接有质谱计(1)和分离规B(8)；上游室(4)设有分离规A(5)；样品室(15)设有分离规C(12)；测试样品(14)放置在样品室(15)内。