| 发明名称 | 载体板及工件的两面研磨装置 | ||
| 摘要 | 本发明的工件的两面研磨装置用的载体板具有保持工件的1个保持孔，其特征在于，在前述载体板的至少上表面上，设有多条主槽，前述主槽在被前述保持孔区划的前述载体板的边缘部之间延伸。此外，本发明的工件的两面研磨装置的特征在于，具备：旋转平板，该旋转平板具有上平板及下平板；恒星齿轮，该恒星齿轮设在前述旋转平板的中心部；内齿轮，该内齿轮设在前述旋转平板的外周部；和上述载体板，该载体板设在前述上平板与前述下平板之间。 | ||
| 申请公布号 | CN105916631A | 申请公布日期 | 2016.08.31 |
| 申请号 | CN201480059761.2 | 申请日期 | 2014.06.04 |
| 申请人 | 胜高股份有限公司 | 发明人 | 三浦友纪 |
| 分类号 | B24B37/28(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 张雨;李婷 |
| 主权项 | 一种工件的两面研磨装置用的载体板，该工件的两面研磨装置用的载体板具有保持工件的1个保持孔，其特征在于，在前述载体板的至少上表面上，设有多条主槽，前述多条主槽在被前述保持孔区划的前述载体板的边缘部之间延伸。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||