一种小型扫描共聚焦光谱显微镜

摘要

本实用新型公开了一种小型扫描共聚焦光谱显微镜，由泵浦模块，扫描成像模块，共聚焦模块，探测模块等4部分组成；所述的泵浦模块包括安装在第一反射镜安装座上的第一反射镜和安装在二向色镜安装座上的二向色镜；所述的扫描成像模块包括二维扫描振镜、扫描透镜或者平场物镜、计算机、数据采集卡和信号控制线，二维扫描振镜固定在基板上，扫描透镜或者平场物镜嵌在基板上，与二维扫描振镜Y轴同轴；所述的共聚焦模块包括安装在第二反射镜安装座上的第二反射镜、安装在平凸透镜安装座上的平凸透镜，安装在光纤安装座上的光纤；探测模块由光电探测器，以及计算机、数据采集卡构成。本实用新型结构紧凑、光程较短、灵敏度高、功能多样、可扩展性强。

主权项

一种小型扫描共聚焦光谱显微镜，其特征在于：由泵浦模块，扫描成像模块，共聚焦模块，探测模块4部分组成；所述的泵浦模块包括安装在第一反射镜安装座(1)上的第一反射镜和安装在二向色镜安装座(2)上的二向色镜；所述的扫描成像模块包括二维扫描振镜(3)、扫描透镜或者平场物镜(5)、计算机、数据采集卡和信号控制线，二维扫描振镜(3)固定在基板(4)上，扫描透镜或者平场物镜(5)嵌在基板(4)上，与二维扫描振镜(3)同轴；所述的共聚焦模块包括安装在第二反射镜安装座(7)上的第二反射镜、安装在平凸透镜安装座(8)上的平凸透镜，安装在光纤安装座(9)上的光纤；探测模块由光电探测器，以及计算机、数据采集卡构成，接收来自光纤的光；经过准直的泵浦光从第一反射镜安装座(1)的一个直角边入射后，在第一反射镜安装座(1)内反射，从另一直角边射出后，再入射至二向色镜(2)，在二向色镜(2)内反射后射出，进入二维扫描振镜(3)，再通过扫描透镜或者平场物镜(5)，最后聚焦到样品上，产生激发光；后向散射的激发光，依次经过扫描物镜或者平场物镜(5)、二维扫描振镜(3)，二向色镜(2)，第二反射镜，平凸透镜，最后通过共聚焦小孔的光纤，然后由光电探测器接收，连接到计算机上对所得的信号进行处理。